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技術(shù)文章/ article

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  • 2020-06-16

    我們的優(yōu)勢(shì)|離子束刻蝕NANO-MASTER的離子束刻蝕系統(tǒng)有很強(qiáng)的適應(yīng)性,可以根據(jù)不同的應(yīng)用建立不同的結(jié)構(gòu),不同的樣品臺(tái)和離子源配置可實(shí)現(xiàn)不同的應(yīng)用范圍。系統(tǒng)中的樣品臺(tái)可實(shí)現(xiàn)正負(fù)90°傾斜、旋轉(zhuǎn)、水冷和背氦冷卻。NM成熟的技術(shù)可控制基片溫度在50℃以?xún)?nèi)。通過(guò)傾斜和旋轉(zhuǎn),深溝可切成斜角,通過(guò)控制側(cè)壁輪廓和徑向可提高均勻性,不同的構(gòu)造不同的應(yīng)用可選擇不同的選配項(xiàng),也可增加濺射實(shí)現(xiàn)刻蝕之后的涂覆保護(hù)。應(yīng)用十分廣泛。NANO-MASTER的離子束刻蝕在行業(yè)中非常有競(jìng)爭(zhēng)力,它憑什么可...

  • 2020-06-12

    NANO-MASTERNLD-4000型等離子增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)可以提供高品質(zhì)的薄膜沉積,通過(guò)配套ICP離子源系統(tǒng)可以支持PEALD和T-ALD等廣泛應(yīng)用。眾多的優(yōu)勢(shì)配置,使得NLD-4000型系統(tǒng)具有許多優(yōu)勢(shì):√超高的薄膜均勻性√良好的粘附力√超凈的沉積(高真空支持)√出色的工藝控制√高度的可重復(fù)性(計(jì)算機(jī)全自動(dòng)工藝控制)√易使用(可直接調(diào)用編好的工藝程序)√運(yùn)行可靠(所有核心組件均帶有保護(hù))√低維護(hù)(完整的安全互鎖)√高、低溫基片樣品臺(tái)√小的占地面積26”x44”√全自動(dòng)...

  • 2020-06-10

    隨著光學(xué)鍍膜設(shè)備的技能開(kāi)展不斷改造,而硬質(zhì)薄膜的設(shè)計(jì)向著多元化、多層膜的方向開(kāi)展。變成現(xiàn)在公司選擇的鍍膜技能。今天咱們經(jīng)過(guò)專(zhuān)家剖析后,給予具體作答。鍍膜機(jī)的正常操作辦法應(yīng)當(dāng)參閱操作手冊(cè)的指示操作。不過(guò)大致的操作程序,咱們簡(jiǎn)略的說(shuō)一下吧:1.查看光學(xué)鍍膜設(shè)備各操作操控開(kāi)關(guān)是不是在"關(guān)"位置。2.翻開(kāi)總電源開(kāi)關(guān),光學(xué)鍍膜設(shè)備送電。3.低壓閥拉出。開(kāi)充氣閥,聽(tīng)不到氣流聲后,發(fā)動(dòng)升鐘罩閥,鐘罩升起。4.裝置固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在滾動(dòng)圓盤(pán)上。把鋁絲穿放在螺旋加熱...

  • 2020-05-20

    隨著原子層沉積技術(shù)與其他先進(jìn)技術(shù)不斷融合以及人們對(duì)原子層沉積設(shè)備的不斷改進(jìn),諸如“等離子體增強(qiáng)原子層沉積技術(shù)”、“空間式原子層沉積技術(shù)”、“流化床原子層沉積技術(shù)”等新型原子層沉積技術(shù)逐漸出現(xiàn)并在一定程度上有效解決了傳統(tǒng)熱原子層沉積技術(shù)所面臨的諸多難題。在過(guò)去二十多年,等離子體增強(qiáng)原子層沉積技術(shù)發(fā)展迅速。通過(guò)巧妙設(shè)計(jì)等離子體引入方式,人們已經(jīng)設(shè)計(jì)出各種等離子體增強(qiáng)原子層沉積設(shè)備。從文獻(xiàn)報(bào)道來(lái)看,針對(duì)太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域的應(yīng)用,一套成熟的空間式原子層沉積設(shè)備需保證每小時(shí)超過(guò)3000片1...

  • 2020-04-27

    我們大部分人都知道等離子有清洗活化的功能,今天我們來(lái)探討下等離子去膠機(jī)。等離子去膠機(jī)反應(yīng)機(jī)理:在干法等離子去膠技術(shù)中,氧是首要腐蝕氣體。它在真空等離子去膠機(jī)反響室中受高頻及微波能量效果,電離發(fā)生氧離子、游離態(tài)氧原子O*、氧分子和電子等混合的等離子體.等離子去膠操作方法:將待去膠片插入石英舟并平行氣流方向,推入真空室兩電極間,抽真空到1.3Pa,通入恰當(dāng)氧氣,堅(jiān)持真空室壓力在1.3-13Pa,加高頻功率,在電極間發(fā)生淡紫色輝光放電,經(jīng)過(guò)調(diào)理功率、流量等技術(shù)參數(shù),可得不一樣去膠速...

  • 2020-01-07

    微波等離子清洗機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場(chǎng)合。通過(guò)其處理,能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時(shí)去除有機(jī)污潮物、油污或油脂。今天,我們來(lái)看看微波等離子清洗機(jī)操作注意事項(xiàng)與應(yīng)用吧。1、正確設(shè)置等離子設(shè)備的運(yùn)行參數(shù),按時(shí)設(shè)備使用說(shuō)明書(shū)來(lái)執(zhí)行。2、保護(hù)好等離子體的點(diǎn)火裝置,以確保等離子清洗機(jī)可以正常的啟動(dòng)。3、等離子設(shè)備在啟動(dòng)前的準(zhǔn)備工作,要對(duì)相關(guān)的人員進(jìn)行培訓(xùn),按照要求嚴(yán)格執(zhí)行各項(xiàng)操作...

  • 2019-12-11

    我們的優(yōu)勢(shì)|NRE-4000型RIE-HCP系統(tǒng)NANO-MASTERNRE-4000型RIE-HCP系統(tǒng),用于高速刻蝕硅、SiO2和Si3N4基片,通過(guò)配套HCP高密度中空陰極等離子源,系統(tǒng)可以支持RIE和RIE-HCP應(yīng)用,提供廣泛的應(yīng)用。眾多的優(yōu)勢(shì)配置,使得NRE-4000型系統(tǒng)具有許多優(yōu)勢(shì):?超高的薄膜均勻性?良好的粘附力?超凈的沉積(高真空支持)?出色的工藝控制?高度的可重復(fù)性(計(jì)算機(jī)全自動(dòng)工藝控制)?易使用(可直接調(diào)用編好的工藝程序)?運(yùn)行可靠(所有核心組件均帶有...

  • 2019-12-09

    試驗(yàn)真空環(huán)境模擬為了考核和研究某些活動(dòng)部件、伸展機(jī)構(gòu)的干摩擦、冷焊性能和研究材料在真空條件下的升華、重量損失、老化等效應(yīng),需要在更高的真空度和其他空間環(huán)境因素的組合下進(jìn)行試驗(yàn)。大家都知道現(xiàn)在真空系統(tǒng)在各個(gè)行業(yè)的應(yīng)用越來(lái)越廣泛,下面我們?yōu)榇蠹医榻B一下現(xiàn)在常用的熱真空系統(tǒng)在熱真空試驗(yàn)設(shè)備中的應(yīng)用吧。熱真空系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、光電器件的制造工藝過(guò)程,是集成電路設(shè)備中的關(guān)鍵設(shè)備之一;它也用于各種其它鍍膜設(shè)備和真空應(yīng)用設(shè)備中。真空系統(tǒng)在熱真空系統(tǒng)中的應(yīng)用熱真空系統(tǒng)是指在真空和一...

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