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技術(shù)文章/ article
一般的熱真空試驗箱均設(shè)有溫度均勻度參數(shù):自然對流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%,強(qiáng)制對流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟獨電熱真空干燥箱不設(shè)溫度均勻度參數(shù),這是為什么?真空干燥箱內(nèi)依靠氣體分子運動使工作室溫度達(dá)到均勻的可能性幾乎已經(jīng)沒有了。因此,從概念上我們就不能再把通常電熱(鼓風(fēng))干燥箱所規(guī)定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來。熱真空試驗箱注意事項1、儀器外殼必須有效接地,以保證使用安全。2、儀器應(yīng)放在通風(fēng)良好的室內(nèi)水平位置,在其周圍不可放置易燃易爆物品。3、應(yīng)在供電...
RIE-PE刻蝕機(jī)是基于真空中的高頻激勵而產(chǎn)生的輝光放電將四氟化碳中的氟離子電離出來從而獲得化學(xué)活性微粒與被刻蝕材料起化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生輝發(fā)性物質(zhì)進(jìn)行刻蝕的。同時為了保證氟離子的濃度和刻蝕速度必須加入一定比例的氧氣生成二氧化碳。RIE-PE刻蝕機(jī)主要對太陽能電池片周邊的P—N結(jié)進(jìn)行刻蝕,使太陽能電池片周邊呈開路狀態(tài)。也可用于半導(dǎo)體工藝中多晶硅,氮化硅的刻蝕和去膠??涛g精度主要是用保真度、選擇比、均勻性等參數(shù)來衡量。所謂保真度度,就是要求把光刻膠的圖形轉(zhuǎn)移到其下的薄膜上,即希望只刻蝕...
熱真空試驗箱注意事項1、儀器外殼必須有效接地,以保證使用安全。2、儀器應(yīng)放在通風(fēng)良好的室內(nèi)水平位置,在其周圍不可放置易燃易爆物品。3、應(yīng)在供電線路中安裝鐵殼的閘刀開關(guān)一只,供此箱,在外殼接地通電前請檢查本箱的電器性能,并應(yīng)注意是否有斷路或漏電現(xiàn)象,本儀器無防爆裝置,不得放入易燃易爆物品干燥。4、箱內(nèi)物品放置切勿過擠,必須留出空間,以利熱空氣循環(huán)。5、箱子由于密封度較高,在使用時,加溫前需抽去真空,以防氣體膨脹發(fā)生爆炸,儀器需要專人操作,在使用過程中發(fā)現(xiàn)真空表沒有負(fù)壓時,應(yīng)繼續(xù)...
隨著汽車行業(yè)的發(fā)展,其各方面性能要求越來越高。點火線圈有提升動力,zui明顯的效果是提升行駛時的中低速扭距;消除積碳,更好的保護(hù)發(fā)動機(jī),延長發(fā)動機(jī)的壽命;減少或消除發(fā)動機(jī)的共振;燃油充分燃燒,減少排放等諸多功能。微波等離子清洗機(jī)要使點火線圈充分發(fā)揮它的作用,其質(zhì)量、可靠度、使用壽命等要求必須達(dá)到標(biāo)準(zhǔn),但是目前的點火線圈生產(chǎn)工藝尚存在很大的問題——點火線圈骨架外澆注環(huán)氧樹脂后,由于骨架在出模具前表面含大量的揮發(fā)性油污,導(dǎo)致骨架與環(huán)氧樹脂結(jié)合面粘合不牢靠,成品使用中,點火瞬間溫度...
加熱后的氣體被導(dǎo)向真空壓力表,真空壓力表就會產(chǎn)生溫升。熱真空試驗箱如果溫升超過了真空壓力表規(guī)定的使用溫度范圍,就可能使真空壓力表產(chǎn)生示值誤差。一般的熱真空試驗箱均設(shè)有溫度均勻度參數(shù):自然對流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%,強(qiáng)制對流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟獨電熱真空干燥箱不設(shè)溫度均勻度參數(shù),這是為什么?真空干燥箱內(nèi)依靠氣體分子運動使工作室溫度達(dá)到均勻的可能性幾乎已經(jīng)沒有了。因此,從概念上我們就不能再把通常電熱(鼓風(fēng))干燥箱所規(guī)定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來。...
在所有的清洗方式中,進(jìn)口晶圓清洗機(jī)是效率zui高、效果的一種,之所以超聲波清洗能夠達(dá)到如此的效果,是與它*的工作原理和清洗方法密切相關(guān)的。我們知道,在生產(chǎn)和生活當(dāng)中,需要清潔的東西很多,進(jìn)口晶圓清洗機(jī)需要清洗的種類和環(huán)節(jié)也很多,如:物件的清除污染物,疏通細(xì)小孔洞,常見的手工清洗方法對異型物件以及物件隱蔽處無疑無法達(dá)到要求,即使是蒸汽清洗和高壓水射流清洗也無法滿足對清潔度較高的需求,超聲波清洗對物件還能達(dá)到殺滅細(xì)菌、溶解有機(jī)污染物、防止過腐蝕等,因此,進(jìn)口晶圓清洗機(jī)被日益廣泛應(yīng)...
在眾多半導(dǎo)體工藝中,刻蝕是決定特征尺寸的核心工藝技術(shù)之一??涛g分為濕法刻蝕和干法刻蝕。濕法刻蝕采用化學(xué)腐蝕進(jìn)行,是傳統(tǒng)的刻蝕工藝。它具有各向同性的缺點,即在刻蝕過程中不但有所需要的縱向刻蝕,也有不需要的橫向刻蝕,因而精度差,線寬一般在3um以上。RIE-PE刻蝕機(jī)是因大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的需要而開發(fā)的精細(xì)加工技術(shù),它具有各向異性特點,在zui大限度上保證了縱向刻蝕,還可以控制橫向刻蝕。介紹的RIE-PE刻蝕機(jī)就是屬于干法ICP刻蝕系統(tǒng)。RIE-PE刻蝕機(jī)為了適應(yīng)工藝發(fā)展需求,各...
微波等離子清洗機(jī)也叫等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。微波等離子清洗機(jī)對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔等目的。等離子體和固體、液體或氣體一樣,是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)...