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派瑞林parylene真空鍍膜設備

派瑞林parylene真空鍍膜設備Series 3000 LV 800/1000系統(tǒng)為派瑞淋涂覆系統(tǒng),采用模塊化架構,主要由兩個功能模塊組成:工藝腔室模塊和蒸發(fā)器模塊。通過Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。

  • 產(chǎn)品型號:Series 3000 LV 800/1000
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-07-01
  • 訪  問  量:128
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產(chǎn)品詳情

派瑞林parylene真空鍍膜設備Series 3000 LV 800/1000系統(tǒng)為派瑞淋涂覆系統(tǒng),通過Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。


Parylene System Series 3000 LV 800/1000是一款模塊化設計的系統(tǒng),主要由兩部分組成:腔室模塊與蒸發(fā)器模塊。我們眾多設備均采用此類模塊化設計,旨在確保系統(tǒng)的靈活性,從而能夠根據(jù)客戶需求對幾乎任何組件進行定制化調(diào)整。其中,“3000"代表產(chǎn)品系列,而“LV 800/1000"則用于標識機器腔室的尺寸規(guī)格。該尺寸設計主要取決于您單次運行中需要涂覆的基板尺寸及數(shù)量要求。  我們所提供的腔室最大容積可達 1000 升。此外,該系統(tǒng)標配等離子源,并可選配旋轉(zhuǎn)工作臺、加熱/冷卻臺以及多達 3 個質(zhì)量流量控制器,以滿足不同氣體入口的需求。


派瑞林parylene真空鍍膜設備

派瑞林parylene真空鍍膜設備Series 3000 LV 800/1000

尺寸L:2600mm  W:960mm  H:1460mm
重量
450kg
腔體容量
800/1000 L
工藝腔體1150mm ? H:600mm (800 L)

1000mm ? H:1100mm(1000L)

等離子源
2.45GHz, 1200 W
氣路
1 路氣體通道(內(nèi)置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)),最多可擴展至 3 路氣體通道。
冷卻系統(tǒng)
8L(機電式冷阱)
真空連接
DIN 63 ISO-KF
排氣
電磁式排氣閥
真空泵
抽速75m3/h
電氣連接
三相五線制,交流 50 Hz,電壓 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW



我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設備既有適用于科研領域的實驗型機型,也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領域的工業(yè)機型。同時,我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源,實現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M行表面化處理,從而提高薄膜的粘附性。另外,我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設計,在小占地面積下提供高性能技術,節(jié)約大量的超凈間占地空間。


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