Parylene 派瑞林涂層技術：

Parylene 是一種高性能的聚合物涂層材料，學名是聚對二甲苯，通過一種特別的化學氣相沉積（CVD）工藝涂覆在物體表面。這個過程在室溫、真空環(huán)境下進行，生成的薄膜具有高度的保形性（能均勻覆蓋復雜形狀、銳邊、縫隙和針孔）、無針孔、透明、生物相容性好、化學惰性強、優(yōu)秀的電絕緣性和阻隔性能（防潮、防腐蝕氣體、防鹽霧等）。

Parylene派瑞林真空鍍膜設備廣泛應用于多個行業(yè)，包括航天航空、半導體、新能源、軍工、汽車、手機、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領域。通過Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。

PPS所提供的Parylene 派瑞林真空鍍膜系統(tǒng)具有以下優(yōu)勢：
       1、在真空腔體中集成等離子源
       2、兼容超凈間的系統(tǒng)設計
       3、經(jīng)過驗證且具有完整可塑性的生產(chǎn)流程
       4、可以提供從定制化的涂覆系統(tǒng)和量身定制的工藝開發(fā)，到全面的耗材、備件供應以及長期的技術支持服務

我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設備既有適用于科研領域的實驗型機型，也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領域的工業(yè)機型。同時，我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源，實現(xiàn)在沉積之前能夠對基材進行表面化處理，從而提高薄膜的粘附性。另外，我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設計，在小占地面積下提供高性能技術，節(jié)約大量的超凈間占地空間。

相關型號：

PPS 提供多樣化的定制化實驗室涂布設備，配備多種可選裝置與附加組件，旨在確保涂層工藝的成功實施、表面潔凈度以及涂層的均勻性和平滑性。我們的絕大多數(shù)系統(tǒng)均具備以下功能配置：
   - 可定制腔體尺寸
   - 支持選配等離子體源
   - 配備冷卻系統(tǒng)及集成泵系統(tǒng)

Parylene System 3000 LV300 是一款模塊化設計的系統(tǒng)，主要由兩部分組成：腔室模塊與蒸發(fā)器模塊。我們眾多設備均采用此類模塊化設計，旨在確保系統(tǒng)的靈活性，從而能夠根據(jù)客戶需求對幾乎任何組件進行定制化調整。其中，“3000"代表產(chǎn)品系列，而“LV300"則用于標識機器腔室的尺寸規(guī)格。該尺寸設計主要取決于您單次運行中需要涂覆的基板尺寸及數(shù)量要求。  我們所提供的腔室最大容積可達 1000 升。此外，該系統(tǒng)標配等離子源，并可選配旋轉工作臺、加熱/冷卻臺以及多達 3 個質量流量控制器，以滿足不同氣體入口的需求。

一體化泵架能夠顯著減少顆粒物排放，從而為潔凈室在最嚴苛的環(huán)境下提供更為清潔和緊湊的整體解決方案。  該系統(tǒng)已被全球眾多潔凈室設施及高等院校廣泛采用，且其應用范圍與使用數(shù)量仍在持續(xù)增長。