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晶圓測厚儀 MX203-4-21

晶圓測厚儀 MX203-4-21是一款手動(dòng)載片的晶圓幾何特性量測儀,適用于直徑分別為 50 mm、75 mm和 100 mm的硅片。該設(shè)備專為控制晶圓厚度與形狀而設(shè)計(jì),同時(shí)可選配應(yīng)力評(píng)估功能以滿足更全面的檢測需求。與所有其他 E+H 晶圓幾何量測儀器一樣,采用了 E+H 的非接觸式電容式距離傳感器技術(shù)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-07-04
  • 訪  問  量:159
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產(chǎn)品詳情

晶圓測厚儀 MX203-4-21是一款手動(dòng)載片的晶圓幾何特性量測儀,適用于直徑分別為 50 mm、75 mm和 100 mm的硅片。該設(shè)備專為控制晶圓厚度與形狀而設(shè)計(jì),同時(shí)可選配應(yīng)力評(píng)估功能以滿足更全面的檢測需求。


MX20系列晶圓厚度測量儀主要用于測量直徑為2寸,3寸,4寸,5寸,6寸,8寸,12寸晶圓的厚度,TTV,Bow彎曲度,Warp翹曲度,F(xiàn)latness平整度,Stress應(yīng)力等晶圓參數(shù)。

晶圓測厚儀 MX203-4-21


晶圓測厚儀 MX203-4-21與所有其他 E+H 晶圓幾何量測儀器一樣,采用了 E+H 的非接觸式電容式距離傳感器技術(shù)。每片晶圓的純測量時(shí)間最長為 5 秒,在操作員進(jìn)行手動(dòng)裝載與卸載的情況下,完成一個(gè)完整的晶圓測量流程大約需要 20 秒。


The Wafer Geometry Station晶圓幾何特性測量工作站

晶圓幾何測量站由一個(gè)下探針頭和一個(gè)上探針頭構(gòu)成。每個(gè)探針頭均以一塊平板為基礎(chǔ),該平板中徑向排列嵌入了 21 個(gè)非接觸式電容距離傳感器。兩塊傳感器板呈水平安裝,并以面對(duì)面的方式精確對(duì)齊。通過用參考晶圓進(jìn)行簡單的校準(zhǔn),即可獲得每對(duì)傳感器之間的距離。

晶圓測厚儀 MX203-4-21

Measurement Principle 測量原理

厚度Thickness和翹曲度Bow/Warp測量在一個(gè)周期內(nèi)完成。在測量過程中,晶圓自由地放置在下探針頭內(nèi)部安裝的支撐點(diǎn)上。對(duì)頂部傳感器至晶圓正面的距離,以及底部傳感器至晶圓背面的距離進(jìn)行測量。

晶圓厚度由每對(duì)傳感器之間已知距離減去所測得的頂部與底部距離之和計(jì)算得出。此外,翹曲測量還額外利用了底部傳感器測得的距離數(shù)據(jù)。在整個(gè)測量過程中,晶圓始終保持靜止?fàn)顟B(tài),從而確保了測量結(jié)果的高度重復(fù)性和精確性。


Measurement type 測量類別

Thickness 晶圓厚度

Flatness (TTV) 平整度/總厚度變化

Bow 彎曲

Warp 翹曲

Stress 應(yīng)力(選配)


Technical Data 技術(shù)參數(shù)

晶圓直徑
50mm, 75mm, 100mm
厚度準(zhǔn)確性
±0.5 µm
分辨率
50nm
厚度范圍
200-800μm
自動(dòng)進(jìn)樣No
軟件MXNT




相關(guān)型號(hào)

型號(hào)MX 203-4-21MX 203-6-33MX 203-8-37
MX 204-6-33
晶圓尺寸2'',3'',4''
4'',5'',6''
6'',8''
4'',5'',6''
厚度準(zhǔn)確性±0.5 µm±0.6μm±0.5 µm±0.6μm
分辨率50nm50nm
50nm
50nm
厚度范圍200-800μm300-900μm
400-1000μm
100-700μm
自動(dòng)進(jìn)樣NoNoNoYes
軟件MXNTMXNTMXNTMXNT
應(yīng)用Thickness,Flatness(TTV),Bow,Warp,StressThickness,Flatness(TTV),Stress







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