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晶圓厚度測(cè)量?jī)x MX 102-8

晶圓厚度測(cè)量?jī)x MX 102-8適用于 150 - 200 mm硅片的高分辨率厚度與平整度(TTV)測(cè)量?jī)x。只需幾秒鐘即可輕松適應(yīng)不同厚度范圍,可集成到自動(dòng)機(jī)器人分揀系統(tǒng)中。適用于研發(fā)、工藝驗(yàn)證以及厚度和平整度(TTV)的工藝控制。一對(duì)電容式傳感器會(huì)在每片晶圓上測(cè)量四個(gè)徑向輪廓(45 度角)。其中一個(gè)輪廓包含 200 個(gè)局部厚度值,并相對(duì)于相鄰輪廓偏移 45 度。配有強(qiáng)大的 MX-NT 操作軟件。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2025-06-19
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:85
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產(chǎn)品詳情

晶圓厚度測(cè)量?jī)x MX 102-8 

適用于 150 - 200 mm硅片的高分辨率厚度與平整度(TTV)測(cè)量?jī)x。只需幾秒鐘即可輕松適應(yīng)不同厚度范圍,可集成到自動(dòng)機(jī)器人分揀系統(tǒng)中。適用于研發(fā)、工藝驗(yàn)證以及厚度和平整度(TTV)的工藝控制。一對(duì)電容式傳感器會(huì)在每片晶圓上測(cè)量四個(gè)徑向輪廓(45 度角)。其中一個(gè)輪廓包含 200 個(gè)局部厚度值,并相對(duì)于相鄰輪廓偏移 45 度。配有強(qiáng)大的 MX-NT 操作軟件。

晶圓厚度測(cè)量?jī)x MX 102-8

儀器功能:
晶圓厚度測(cè)量?jī)x MX 102-8基于已有的適用于 150 mm和 200mm晶圓的類(lèi)似測(cè)量設(shè)備,MX 102 能夠生成四個(gè)(或八個(gè))徑向剖面圖,每個(gè)剖面圖包含數(shù)百個(gè)精確的厚度數(shù)據(jù)點(diǎn)。該設(shè)備配備了一對(duì)分辨率為 10 納米的電容式傳感器,能夠在數(shù)秒內(nèi)快速適應(yīng)不同的厚度測(cè)量范圍。在每次掃描之前,設(shè)備會(huì)通過(guò)一個(gè)經(jīng)過(guò)認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)量塊實(shí)現(xiàn)自動(dòng)重新校準(zhǔn),以確保測(cè)量結(jié)果的高度準(zhǔn)確性。

多次掃描:
對(duì)于眾多應(yīng)用場(chǎng)景而言,標(biāo)準(zhǔn)的四次徑向掃描通常已能滿(mǎn)足需求,特別是針對(duì)經(jīng)過(guò)研磨處理后接近旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)特性的晶圓。從理論角度分析,通過(guò)增加掃描次數(shù),可實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓表面約 50% 區(qū)域的覆蓋。然而,由于晶圓支撐結(jié)構(gòu)的存在,其余部分區(qū)域則會(huì)位于支撐點(diǎn)所形成的“遮擋范圍"內(nèi),難以直接進(jìn)行掃描。

XN-Option:
針對(duì) 200 mm晶圓,通過(guò)引入一種簡(jiǎn)易的附加運(yùn)動(dòng)即可有效解決上述問(wèn)題。在測(cè)量周期的第一階段完成后,晶圓將被抬升,并由兩個(gè)夾具進(jìn)行臨時(shí)固定,與此同時(shí),晶圓下方的轉(zhuǎn)盤(pán)執(zhí)行 45 度旋轉(zhuǎn)操作。隨后,晶圓重新下降至支撐結(jié)構(gòu),并由真空吸盤(pán)完成二次夾緊,此時(shí)測(cè)量周期的第二階段隨即啟動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)剩余區(qū)域的全面覆蓋。

晶圓厚度測(cè)量?jī)x MX 102-8


MX 102 在分辨率與通量之間實(shí)現(xiàn)了優(yōu)化平衡:第二次掃描周期的偏移角度為 22.5 度,從而生成八個(gè)交叉掃描剖面,總測(cè)量點(diǎn)數(shù)可達(dá)約 2400 個(gè)或更多。通過(guò)簡(jiǎn)單的三維圖形化展示,能夠直觀呈現(xiàn)晶圓的整體幾何特性。

晶圓厚度測(cè)量?jī)x MX 102-8

重復(fù)性示例:

晶圓厚度測(cè)量?jī)x MX 102-8


技術(shù)參數(shù):
晶圓直徑:150mm,200mm
準(zhǔn)確性:±0.1μm
分辨率:10nm
空間分辨率:1mm
掃描次數(shù):4
軟件:MXNT

相關(guān)產(chǎn)品:
型號(hào)MX 102-6MX 102-8MX 1012MX 1018
晶圓尺寸4'', 5'', 6''6'', 8''8'', 12''12'', 18''
準(zhǔn)確性±0.1μm±0.1μm±0.1μm±0.3μm
分辨率10nm10nm10nm10nm
空間分辨率1mm1mm1mm1mm
掃描次數(shù)44up to 8up to 8
厚度動(dòng)態(tài)范圍100 or 350μm100 or 350μm100 or 350μm100 or 350μm
軟件MXNTMXNTMXNTMXNT


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