伊人久久大香线蕉av影院,日韩欧美黄色,夜鲁鲁鲁夜夜综合视频,天堂在\/线中文官网

產(chǎn)品中心/ products

您的位置:首頁  -  產(chǎn)品中心  -  生長系統(tǒng)  -  ALD原子層沉積系統(tǒng)  -  進(jìn)口ALD設(shè)備

進(jìn)口ALD設(shè)備

進(jìn)口ALD設(shè)備:ALD原子層沉積可以滿足膜厚控制以及高深寬比結(jié)構(gòu)的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠(yuǎn)超過其它沉積技術(shù)。由于前驅(qū)體流量的隨意性不會(huì)帶來影響,所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應(yīng)將會(huì)帶來非統(tǒng)計(jì)的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續(xù)以及無孔的特性,可以提供優(yōu)異的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實(shí)現(xiàn)到大基片上。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-07-04
  • 訪  問  量:4209
立即咨詢

聯(lián)系電話:021-62318025

產(chǎn)品詳情

進(jìn)口ALD設(shè)備概述:原子層沉積是一項(xiàng)沉積薄膜的重要技術(shù),具有廣泛的應(yīng)用。ALD原子層沉積可以滿足膜厚控制以及高深寬比結(jié)構(gòu)的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠(yuǎn)超過其它沉積技術(shù)。由于前驅(qū)體流量的隨意性不會(huì)帶來影響,所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應(yīng)將會(huì)帶來非統(tǒng)計(jì)的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續(xù)以及無孔的特性,可以提供優(yōu)異的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實(shí)現(xiàn)到大基片上。

進(jìn)口ALD設(shè)備特點(diǎn):

  • 占地面積小

  • 計(jì)算機(jī)控制,Labview軟件全自動(dòng)工藝控制

  • 360A厚的AL2O3膜,誤差為±1A

  • 三維鍍膜,接近100%的階梯覆蓋率

  • 設(shè)備集成安全氣柜

  • 10mTorr的極限真空

  • 可支持6“,8"基片(升級(jí)支持12“,或定制更大尺寸)

  • 樣品臺(tái)可加熱至400℃(可選加熱到500℃)

  • 手動(dòng)/自動(dòng)上下載片可選

  • 支持多達(dá)7路的50ml的液態(tài)或固態(tài)前驅(qū)體瓶源

選配:

  • 下游式遠(yuǎn)程平面ICP源或中空陰極離子源,支持PEALD

  • 自動(dòng)上下片,單片或25片cassette

  • 增加額外的液態(tài)qia前驅(qū)體或額外的fan'ying反應(yīng)氣路

  • 300l/sec的磁懸浮渦流分子泵,5*10-7Torr極限真空

  • 大尺寸的基片或fe粉末的沉積

  • QCM原位膜厚監(jiān)控系統(tǒng)

應(yīng)用:

  • Oxides氧化物: Al203, HfO2, La2O3, SiO2, TiO ZnO, In2O3,etc

  • Nitrides氮化物: AlN, TiN, TaN, etc..

  • Photovoltaic and MEMS applications光伏及MEMS應(yīng)用.

  • Nano laminates納米復(fù)合材料

  • 高K介質(zhì)

  • 疏水性涂覆

  • 鈍化層

  • 高深寬比擴(kuò)散阻擋層的銅連接

  • 微流控ying'yo應(yīng)用的保形性涂覆

  • 燃料電池z中諸如催化層的單金屬涂覆

在線咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
聯(lián)系我們
產(chǎn)品中心
021-62318025
掃碼
加微信
版權(quán)所有©2025 那諾中國有限公司 All Rights Reserved   備案號(hào):   sitemap.xml   技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)   管理登陸
中文字幕AV在线一二三区| 亚洲无码一区二区三区| 北流市| 91久久国语露脸精品国产高跟 | 97久久久| 亚洲国产精品一区二区尤物区| 日本高清在线一区欧美 | 国产在线不卡人成视频| 亚洲av吞精久久久久| 欧美日韩国产第一页激情| 中文字幕色偷偷人妻久久| 一本大道香蕉久在线播放29| 精品国产乱码一区二区三区99| 99国产精品国产精品九九| 久久国产综合精品女乱人伦| 欧美va亚洲va在线观看| 美女高潮流白浆娇喘免费网站 | 亚洲VA韩国VA欧美VA| 无码永久成人免费视频| 国产麻豆精品久久一二三| 色综合五月天| 日韩欧美亚洲综合久久影院| 久久久久99精品成人片直播 | 热久久国产欧美一区二区精品| 色在线| 99久久九九| 国产91中文综合日韩免费| 午夜人性色福利无码视频在线观看 | 色噜噜噜| 大埔县| 应用必备| 日韩天堂| av直播| 精品少妇一区二区三区日产乱码| 三年片免费大全国语| 国产乱子影视频上线免费观看| 一本一道精品欧美中文字幕| 真人抽搐一进一出GIF| 亚洲av无码一区二区三区性色| 亚洲av午夜精品一区二区三区| 欧美色吧|