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    Platens樣品臺(tái)

    NANO-MASTER(那諾-馬斯特)Platens樣品臺(tái),又稱為基板或加熱板,是真空鍍膜設(shè)備中常用到關(guān)鍵部件。因此樣品臺(tái)可以整合到RIE刻蝕、ICP刻蝕、PECVD、ALD等刻蝕和沉積設(shè)備中,給晶圓等樣片進(jìn)行均勻加熱和冷卻處理,為微納米薄膜工藝提供精確的溫度環(huán)境。

    • 產(chǎn)品型號(hào):
    • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    • 更新時(shí)間:2025-04-28
    • 訪  問(wèn)  量:2238
    立即咨詢

    聯(lián)系電話:021-62318025

    產(chǎn)品詳情

    NANO-MASTER Platens樣平臺(tái)

    NANO-MASTER(那諾-馬斯特)Platens樣品臺(tái),使用技術(shù),加熱均勻性*。NANO-MASTER的樣平臺(tái)(或稱為基板、熱板)可以加入射頻偏壓、水冷卻、通過(guò)模塊控制700°C范圍的溫度。基板的高度可調(diào)節(jié),基片可旋轉(zhuǎn),真空腔體內(nèi)沒(méi)有任何引線。任何地方不會(huì)出現(xiàn)短路或電弧,因?yàn)樗幸€、電熱偶和冷卻水管道都保持在大氣壓下。NM樣品臺(tái)可以直接安裝到你的系統(tǒng)中,無(wú)論是RIE刻蝕、ICP刻蝕、ALE刻蝕,還是PECVD、ALD等沉積設(shè)備中,我們的基板都可以很方便的配套使用。

    Platens樣品臺(tái)可應(yīng)用的設(shè)備:

    • RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
    • ICP感應(yīng)耦合等離子刻蝕機(jī)
    • ALE原子層刻蝕設(shè)備
    • PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備
    • ALD原子層沉積設(shè)備
    • 其他設(shè)備

    ?尺寸:

    • 1-12英寸
    • 可定制

    Platens不同型號(hào)對(duì)應(yīng)溫度上限:

    • NM-LTP,低溫?zé)岚?,z高可加熱到300°C
    • NM-MTP,中溫?zé)岚?,z高可加熱到500°C
    • NM-HTP,高溫?zé)岚?,z高可加熱到700°C

    ?Different models allow for different temperature limits:

    • NM-LTP - Low Temperature Platen heatable up to 300°C
    • NM-MTP - Mid Temperature Platen heatable up to 500°C
    • NM-HTP - High Temperature Platen heatable up to 700°C
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