伊人久久大香线蕉av影院,日韩欧美黄色,夜鲁鲁鲁夜夜综合视频,天堂在\/线中文官网

產(chǎn)品中心/ products

您的位置:首頁  -  產(chǎn)品中心  -  沉積系統(tǒng)  -  PECVD等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)  -  NPE-3500 PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

NPE-3500 PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

NPE-3500 PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng): NM的PECVD能夠沉積高質(zhì)量SiO2, Si3N4, 或DLC膜到Z大可達(dá)12" 的基片.淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源,具有分形氣流分布優(yōu)勢(shì).樣品臺(tái)通過RF或脈沖DC產(chǎn)生偏壓??芍С旨訜岷屠鋮s.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5 cfm的機(jī)械泵,真空可低至10-7 torr。標(biāo)準(zhǔn)配置含1路惰性氣體、3路活性氣體和4個(gè)MFC。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2023-11-13
  • 訪  問  量:1639
立即咨詢

聯(lián)系電話:021-62318025

產(chǎn)品詳情

PECVD沉積技術(shù)

NPE-3500 PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)概述:NANO-MASTER PECVD系統(tǒng)能夠沉積高質(zhì)量的SiO2, Si3N4, 或DLC薄膜z大可達(dá)12” 直徑的基片上.該系統(tǒng)采用淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源來產(chǎn)生等離子,具有分形氣流分布的優(yōu)勢(shì).樣品臺(tái)可以通過RF或脈沖DC產(chǎn)生偏壓。并可以支持加熱和循環(huán)冷卻水的冷卻.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5 cfm的機(jī)械泵,腔體可以達(dá)到低至10-7 torr的真空。標(biāo)準(zhǔn)配置包含1路惰性氣體、3路活性氣體管路和4個(gè)MFC.帶有*氣體分布系統(tǒng)的平面中空陰極等離子源使得系統(tǒng)可以滿足廣大范圍的要求,無論是等離子強(qiáng)度、均勻度,還是要分別激活某些活性組份,這樣系統(tǒng)可以覆蓋z廣的可能性來獲得各種沉積參數(shù)。

NPE-3500 PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)應(yīng)用:

  1. 等離子誘導(dǎo)表面改性:就是通常所說的用等離子實(shí)現(xiàn)表面改性(如親水性、疏水性等)
  2. 等離子清洗:去除有機(jī)污染物
  3. 等離子聚合:對(duì)材料表面產(chǎn)生聚合反應(yīng)
  4. 沉積二氧化硅、氮化硅、DLC(類金剛石),以及其它薄膜
  5. CNT(碳納米管)和石墨烯的選擇性生長(zhǎng):在需要的位置生長(zhǎng)CNT或石墨烯。

特點(diǎn):

  • 緊湊型獨(dú)立式系統(tǒng)
  • 不銹鋼或鋁制腔體
  • 極限真空可達(dá)10-7Torr
  • RF淋浴頭,HCD或微波等離子源
  • 高達(dá)12”(300mm)直徑的樣品臺(tái)
  • RF射頻偏壓樣品臺(tái)
  • 水冷樣品臺(tái)
  • 可加熱到的800 °C樣品臺(tái)
  • 加熱的氣體管路
  • 加熱的液體傳送單元
  • 抗腐蝕的渦輪分子泵組
  • 1路載體氣體以及3路反應(yīng)氣體,帶MFC
  • 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
  • 菜單驅(qū)動(dòng),4級(jí)密碼訪問保護(hù)
  • 完整的安全聯(lián)鎖
在線咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
聯(lián)系我們
產(chǎn)品中心
021-62318025
掃碼
加微信
版權(quán)所有©2024 那諾中國有限公司 All Rights Reserved   備案號(hào):   sitemap.xml   技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)   管理登陸
欧美日产国产精品| 亚洲欧洲中文日韩乱码av| A级毛片免费观看在线播放 | 亚洲爱婷婷色婷婷五月| 常宁市| 欧美一区二区三区精品免费| 国产精品怡红院在线观看 | 欧美美女色图| 精品日韩欧美一区二区在线播放| asian性开放少妇pics| 国产成人片无码视频在线观看 | 最新国产aⅴ精品无码| 午夜福利中文字幕| 免费无码又爽又刺激激情视频软件| 久久精品人妻一区二区三区| 久久久久久久综合网| 亚洲中文字幕成人无码| 久热官网| 亚洲AV无码天堂一区二区三区| 久久精品无码AV| [3d全彩h漫]丝袜人妻| 日本乱子伦xxxx| 一区二三国产好的精华液品牌| 国产一级特黄aaa大片| 久久性爱视频| 狠狠躁夜夜躁人人爽超碰97香蕉| 飞行影院| 水蜜桃2| 国产午夜精品一区二区三区视频| 亚洲AV永久无码精品一区二区| 婷婷激情综合| 欧美人与动欧交视频| 上蔡县| 亚洲爽妇网| 无码αv人妻一区二区三区 | 国产精品搬运| av超碰| 久久av一区二区| 无码h视频精品免费播放| 精品亚洲一区二区三区在线播放| 国产香蕉尹人综合在线观看|