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NSC-1000磁控濺射系統(tǒng)

NSC-1000磁控濺射系統(tǒng):帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,可達(dá)6“旋轉(zhuǎn)平臺,支持到2個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,極限真空可達(dá)10-7 Torr,15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-04-28
  • 訪  問  量:2236
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聯(lián)系電話:021-62318025

產(chǎn)品詳情

磁控濺射技術(shù)

NSC-1000磁控濺射系統(tǒng)概述:帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,可達(dá)6"旋轉(zhuǎn)平臺,支持到2個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,極限真空可達(dá)10-7 Torr,15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

NSC-1000帶有10”派熱克鐘罩腔體,22”的磁控管,DC直流電源用于濺射金屬,并帶有膜厚監(jiān)測儀(選配)。由于NSC-1000的空間有限,我們不能在NSC-1000系統(tǒng)上提供更多的電源和磁控管。我們可以提供我們的NSC-1000系統(tǒng),用于SEM應(yīng)用,也可以用于濺射金屬到z大6”的晶圓片。

NSC-1000磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點

  • 不銹鋼,鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
  • 70l/s的渦輪分子泵,串接機(jī)械泵或干泵
  • 1KW DC直流電源
  • 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
  • 帶觀察視窗的腔門易于上下載片
  • 基于LabView軟件的PC計算機(jī)控制
  • 帶密碼保護(hù)功能的多級訪問控制
  • *的安全聯(lián)鎖功能

選配項:

  • Thickness Monitor   膜厚監(jiān)測

應(yīng)用:

  • SEM應(yīng)用
  • 濺射金屬,可達(dá)6"的晶圓片
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