伊人久久大香线蕉av影院,日韩欧美黄色,夜鲁鲁鲁夜夜综合视频,天堂在\/线中文官网

產(chǎn)品中心/ products

您的位置:首頁  -  產(chǎn)品中心  -  刻蝕系統(tǒng)  -  RIE反應離子刻蝕系統(tǒng)  -  NRE-3500(A)全自動反應離子刻蝕機

NRE-3500(A)全自動反應離子刻蝕機

NRE-3500(A)全自動反應離子刻蝕機:自動上下栽片,PC控制的RIE反應離子刻蝕系統(tǒng),淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品,不銹鋼柜,13“頂蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.2“觀察.該系統(tǒng)可以支持Z大到12“的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計,真空泵可以達到10-6 Torr 或更小的極限真空??梢栽?0mTorr到8Torr之間的真空下工作。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-07-04
  • 訪  問  量:1904
立即咨詢

聯(lián)系電話:021-62318025

產(chǎn)品詳情

RIE反應離子刻蝕機

NRE-3500(A)全自動反應離子刻蝕機概述:獨立式RIE反應離子刻蝕系統(tǒng),淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2"的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持至大到12"的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計,并且根據(jù)配套的真空泵可以達到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個節(jié)流閥,一個250l/s的渦輪分子泵,濾網(wǎng)過濾器,以及一個10cfm的機械泵(帶Formblin泵油).RF射頻功率通過600W,13.56MHz的電源和自動調(diào)諧器提供。系統(tǒng)將持續(xù)監(jiān)控直流自偏壓,該自偏壓可以高達-500V.這對于各向異性的刻蝕至關(guān)重要。


NRE-3500(A)全自動反應離子刻蝕機是基于PC控制的全自動系統(tǒng).系統(tǒng)真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實時顯示,流量及功率則以數(shù)字形式實時顯示.系統(tǒng)提供密碼保護的四級訪問功能:操作員級、工程師級、工藝人員級,以及維護人員級.允許半自動模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式), 和全自動執(zhí)行程序模式(操作模式)運行系統(tǒng)?;谌詣拥目刂?,該系統(tǒng)具有高度的可重復性。


產(chǎn)品特點:

  • 鋁質(zhì)腔體或不銹鋼腔體

  • 不銹鋼立柜

  • 能夠刻蝕硅的化合物(~400? /min)以及金屬

  • 典型的硅刻蝕速率,400 ?/min

  • 高達12"的陽極氧化鋁RF樣品臺

  • 水冷及加熱的RF樣品臺

  • 大的自偏壓

  • 淋浴頭氣流分布

  • 極限真空5x10-7Torr,20分鐘內(nèi)可以達到10-6Torr級別

  • 渦輪分子泵

  • 至多支持5個MFC

  • 無繞曲氣體管路

  • 自動下游壓力控制

  • 雙刻蝕能力:RIE以及PE刻蝕(可選)

  • 終點監(jiān)測

  • 氣動升降頂蓋

  • 自動上下載片

  • 預真空鎖

  • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制

  • 菜單驅(qū)動,4級密碼訪問保護

  • *的安全聯(lián)鎖

  • 可選ICP離子源以及低溫冷卻樣品臺,用于深硅刻蝕


產(chǎn)品型號:

  • NRE-4000:基于PC計算機全自動控制的獨立式系統(tǒng),占地面積26“D x 44"W

  • NRE-3500:基于PC計算機全自動控制的緊湊型獨立式系統(tǒng),占地面積26“D x 26"W

  • NRE-3000:基于PC計算機全自動控制的臺式系統(tǒng),占地面積26“D x 26"W

  • NRP-4000:RIE/PECVD雙系統(tǒng)

  • NDR-4000:深RIE刻蝕(深硅刻蝕)系統(tǒng)

在線咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯數(shù)字),如:三加四=7
關(guān)于我們
聯(lián)系我們
產(chǎn)品中心
021-62318025
掃碼
加微信
版權(quán)所有©2025 那諾中國有限公司 All Rights Reserved   備案號:   sitemap.xml   技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)   管理登陸
中文字幕亚洲综合久久| 久久精品一区二区三区无码护土| 亚洲AV无码国产剧情| 久久久久久久久久久国产| 一本色道久久综合亚洲精品酒店| 深爱激情五月天| 小雪被老外黑人撑破了视频| 国产成人久久精品77777综合| 美女啪啪网站又黄又免费| 中文字幕无码AV激情不卡| 欧美日韩精品一区二区三区高清视频 | 老妇av| xx欧美| 亚洲av成人网| 精品少妇一区二区三区日产乱码| 五月婷久久| 亚洲AV高清一区二区三区| 天天狠天天透天干天天怕∴| 99久久精品国产波多野结衣| 无码欧精品亚洲日韩一区| 久久免费看黄a级毛片| 久久精品国产久精国产果冻传媒| 国产AV成人精品播放| 18禁黄网站禁片免费观看APP| 成人无码AV一区二区| 精品国产一区二区三区色欲| eeuss鲁丝片av无码| AV综合网男人的天堂| 日韩人妻精品无码一区二区三区| 连平县| 三级全黄| 91新网址| 综合网| 欧洲色网| 蜜臀网站| 新版天堂资源在线| 久久精品中文騷妇女内射| 无码无遮挡又大又爽又黄的视频| 国产高潮刺激叫喊视频| 国产高清不卡无码视频| 无码高潮喷吹在线观看|