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進(jìn)口微波去膠機(jī)*款適用于遠(yuǎn)程控制的設(shè)備

更新時(shí)間:2015-10-28      瀏覽次數(shù):3240
  進(jìn)口微波去膠機(jī)是石英腔的微波等離子系統(tǒng),可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理,也可以作為單片處理,系統(tǒng)為計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的系統(tǒng)。典型工藝包含:大劑量離子注入后的光刻膠去除;干法刻蝕工藝的前處理或后處理;MEMS制造中的犧牲層去除。
  
進(jìn)口微波去膠機(jī)系統(tǒng)控制:
  PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠(yuǎn)程控制)
  10.4”觸摸屏、圖形用戶界面
  Windows Office兼容
  存儲(chǔ)處理數(shù)據(jù)和錯(cuò)誤信息,處理數(shù)據(jù)輸出
  工藝參數(shù)圖形曲線的 監(jiān)測(cè)
  自動(dòng)或手動(dòng)操作
  
進(jìn)口微波去膠機(jī)工藝參數(shù):

  材質(zhì):石英玻璃
  容積:21公升
  腔體尺寸:直徑240mm,深度460mm
  腔體后部:鋁
  腔門:鋁質(zhì)材料制作,抽拉式支撐架跟前門相連,便于手動(dòng)放片;
  氣體分布:前門擴(kuò)散
  觀察視窗:防紫外及微波
  支撐架:鋁質(zhì)材料,
  真空連接:DN40 ISO-KF
  壓力控制:Pirani,1-100Pa
  真空泵:推薦35m3/h
  真空閥:電子氣動(dòng)閥,DN40 ISO-KF
  真空密封:硅樹脂
  氣體供應(yīng):1路數(shù)字顯示的質(zhì)量流量器控制
  氣體通道:3路數(shù)字MFC,裝有電磁閥,1000/500/200sccm(N2校準(zhǔn)),1/4" Swagelok接頭
  卸壓:電磁閥,1/4" Swagelok接頭
  功率:2.45GHz,50-1200W連續(xù)可調(diào)
  耦合:微波天線,鋁質(zhì)諧振器,腔體內(nèi)無(wú)電極
  
進(jìn)口微波去膠機(jī)選配:
  真空泵 : 雙級(jí)真空泵,如,抽吸能力大40m3/h
  氣路:額外的數(shù)字顯示質(zhì)量流量控制器
  旋轉(zhuǎn)臺(tái):鋁,直徑200mm,速度可調(diào)
  ECR(電子回旋共振):鋁、支架配置永磁體

進(jìn)口微波去膠機(jī)
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