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配備大觀察窗的進(jìn)口晶圓清洗機(jī)取放晶圓更加安全且方便

更新時(shí)間:2021-06-11      瀏覽次數(shù):1334

    進(jìn)口晶圓清洗機(jī)采用Nano-Master進(jìn)口兆聲單晶圓及掩模版清洗機(jī)提供高可重復(fù)性、高均勻性及兆聲清洗。它可以在一個(gè)工藝步驟中包含了的無損兆聲清洗、化學(xué)試劑清洗、刷子清洗以及干燥功能。

    進(jìn)口晶圓清洗機(jī)設(shè)備特點(diǎn):

    ▲可更換清洗吸盤,可使用4-12英寸的清洗吸盤;

    ▲操作程序可按作業(yè)需求編寫調(diào)整,設(shè)備運(yùn)行流程、清洗時(shí)間及各項(xiàng)參數(shù)可自行編制;

    ▲設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)及參數(shù)在線實(shí)時(shí)監(jiān)控,自動(dòng)門配有安全光柵,保證操作安全;

    ▲采用真空吸附式清洗盤,晶元夾具的取放更安全、方便;

    ▲擺臂式清洗,清洗范圍可編制,適用范圍廣、無清洗盲區(qū)、無二次污染,清洗效果更佳;

    ▲設(shè)備清洗室全密封,且配有自動(dòng)擋水圈,有效防止二次污染;

    ▲高速離心設(shè)計(jì),轉(zhuǎn)速可調(diào)節(jié)100-2000R/Min;

    ▲配備*的靜電消除裝置,輔助清洗達(dá)到最佳效果,可選擇使用氮?dú)猓?/span>

    ▲設(shè)備配有大面積透明觀察窗;

    ▲縮減寬度的省空間設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間??;

    ▲整機(jī)鏡面不銹鋼機(jī)身,能耐酸堿,對工作環(huán)境無污染,鏡面機(jī)殼易于保養(yǎng)。
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