1)
微波等離子去膠機(jī)理：
在干法等離子去膠工藝中，氧是主要腐蝕氣體。它在真空等離子去膠機(jī)反應(yīng)室中受高頻及微波能量作用，電離產(chǎn)生氧離子、游離態(tài)氧原子 O*、氧分子和電子等混合的等離子體，其中具有強(qiáng)氧化能力的游離態(tài)氧原子 （約占 10-20%）在高頻電壓作用下與光刻膠膜反應(yīng)： O2→O*+ O*， CxHy + O*→CO2↑+ H2O↑。反應(yīng)后生成的 CO2 和 H2O，隨即被抽走。
2) 微波等離子去膠機(jī)操作方法：
將待去膠片插入石英舟并平行氣流方向，推入真空室兩電極間，抽真空到 1.3Pa，通入適量氧氣，保持反應(yīng)室壓力在 1.3-13Pa，加高頻功率，在電極間產(chǎn)生淡紫色輝光放電，通過調(diào)節(jié)功率、流量等工藝參數(shù)，可得不同去膠速率，當(dāng)膠膜去凈時(shí)，輝光消失。
3）微波等離子去膠機(jī)影響因素：
頻率選擇：頻率越高，氧越易電離形成等離子體。頻率太高，以至電子振幅比其平均自由程還短，則電子與氣體分子碰撞幾率反而減少，使電離率降低。一般常用頻率為 13.56MHz及2.45GHZ 。
功率影響：對于一定量的氣體，功率大，等離子體中的的活性粒子密度也大，去膠速度也快；但當(dāng)功率增大到一定值，反應(yīng)所能消耗的活性離子達(dá)到飽和，功率再大，去膠速度則無明顯增加。由于功率大，基片溫度高，所以應(yīng)根據(jù)工藝需要調(diào)節(jié)功率。
真空度的選擇：適當(dāng)提高真空度，可使電子運(yùn)動(dòng)的平均自由程變大，因而從電場獲得的能量就大，有利電離。另外當(dāng)氧氣流量一定時(shí)，真空度越高，則氧的相對比例就大，產(chǎn)生的活性粒子濃度也就大。但若真空度過高，活性粒子濃度反而會減小。
氧氣流量的影響：氧氣流量大，活性粒子密度大，去膠速率加快；但流量太大，則離子的復(fù)合幾率增大，電子運(yùn)動(dòng)的平均自由程縮短，電離強(qiáng)度反而下降。微波等離子去膠機(jī)若反應(yīng)室壓力不變，流量增大，則被抽出的氣體量也增加，其中尚沒參加反應(yīng)的活性粒子抽出量也隨之增加， 因此流量增加對去膠速率的影響也就不甚明顯。
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更新時(shí)間：2018-05-17 
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