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全自動磁控濺射系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)對濺射過程的精確控制

更新時間:2024-09-25      瀏覽次數(shù):259
  全自動磁控濺射系統(tǒng)是一種利用磁場控制電子運動軌跡,使電子與靶材發(fā)生碰撞并濺射出原子或分子,從而在基片上形成薄膜的設(shè)備。與傳統(tǒng)的磁控濺射設(shè)備相比,在結(jié)構(gòu)上增加了自動化控制系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)對整個濺射過程的精確控制和自動化操作。主要由真空室、磁控濺射源、基片加熱器、真空測量與控制系統(tǒng)以及自動化控制系統(tǒng)等部分組成。其中,自動化控制系統(tǒng)是核心部分,它通過接收傳感器的信號,實時監(jiān)測濺射過程中的各項參數(shù)(如真空度、溫度、電流等),并根據(jù)預設(shè)的程序自動調(diào)整各項參數(shù),以保證薄膜的質(zhì)量和一致性。廣泛應用于半導體、光電子、能源、環(huán)境等領(lǐng)域的薄膜制備中。例如,在半導體領(lǐng)域,它可以用于制備金屬電極、絕緣層、導電層等;在光電子領(lǐng)域,它可以用于制備太陽能電池、顯示器件、光學薄膜等;在能源領(lǐng)域,它可以用于制備燃料電池電極、鋰離子電池正極材料等;在環(huán)境領(lǐng)域,它可以用于制備水處理膜、氣體分離膜等。
 

 

  1.高效穩(wěn)定:采用先進的自動化控制技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)對濺射過程的精確控制,提高薄膜的沉積速度和質(zhì)量穩(wěn)定性。
  2.操作簡便:通過觸摸屏或計算機界面,用戶可以方便地設(shè)置和調(diào)整各項參數(shù),實現(xiàn)一鍵式操作和遠程監(jiān)控。
  3.安全可靠:具有完善的安全保護措施,如過流保護、過熱保護等,確保設(shè)備在異常情況下能夠自動停機并報警。
  4.節(jié)能環(huán)保:采用節(jié)能型真空泵和電源管理系統(tǒng),有效降低能耗和排放。
  全自動磁控濺射系統(tǒng)的操作與維護:
  1.操作方法:
 ?。?)根據(jù)實驗要求選擇合適的靶材和基片;
 ?。?)將靶材和基片安裝到相應的位置;
  (3)通過觸摸屏或計算機界面設(shè)置各項參數(shù)(如真空度、溫度、電流等);
  (4)啟動自動化控制系統(tǒng),開始濺射過程;
 ?。?)在濺射過程中,實時監(jiān)測各項參數(shù)的變化情況;
 ?。?)待濺射完成后,取出樣品并進行后續(xù)處理。
  2.維護保養(yǎng):
 ?。?)定期對設(shè)備進行清潔和檢查以保持其良好的工作狀態(tài);
 ?。?)檢查設(shè)備的密封性和真空度是否正常;
 ?。?)對于長時間不使用的設(shè)備應采取相應的保護措施以防止銹蝕和老化等問題的發(fā)生;
 ?。?)在使用過程中如發(fā)現(xiàn)異常情況應及時停機檢查并排除故障后方可繼續(xù)使用。
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