伊人久久大香线蕉av影院,日韩欧美黄色,夜鲁鲁鲁夜夜综合视频,天堂在\/线中文官网

技術文章/ article

您的位置:首頁  -  技術文章  -  帶你揭秘微波等離子去膠機的工作原理

帶你揭秘微波等離子去膠機的工作原理

更新時間:2022-06-23      瀏覽次數(shù):908
 
  微波等離子去膠機適用于小批量生產和研發(fā)的設備。并且,此系統(tǒng)可以滿足360度的芯片封裝需要。AL18系統(tǒng)是一款創(chuàng)新型的通用設備,可選配旋轉轉盤,及ECR(電子回旋共振)裝置。
 
  微波等離子去膠機的工作原理:
 
  氧等離子去膠是利用氧氣在微波發(fā)生器的作用下產生氧等離子體,具有活性的氧等離子體與有機聚合物發(fā)生氧化反應,是的有機聚合物被氧化成水汽和二氧化碳等排除腔室,從而達到去除光刻膠的目的,這個過程我們有時候也稱之為灰化或者掃膠。氧等離子去膠相比于濕法去膠工藝更為簡單、適應性更好,去膠過程純干法工藝,無液體或者有機溶劑參與。當然我們需要注意的是,這里并不是說氧等離子去膠工藝100%好于濕法去膠,同時也不是所有的光刻膠都適用于氧等離子去膠,以下幾種情形我們需要注意:
 
 ?、俨糠址€(wěn)定性*的光刻膠如SU-8、PI(聚酰亞胺),往往膠厚也比較大,純氧等離子體去膠速率也比較有限,為了保證快速去膠,往往還會在工藝氣體中增加氟基氣體增加去膠速率,因此不只是氧氣是反應氣體,有時候我們也需要其他氣體參與;
 
 ?、谕磕z后形成類非晶態(tài)二氧化硅的HSQ光刻膠。由于其構成并不是單純的碳氫氧,所以是無法使用氧等離子去膠機來實現(xiàn)去膠;
 
 ?、郛斘覀兊臉悠分杏衅渌枰A舻慕Y構層本身就是有機聚合物構成的,在等離子去膠的過程中,這些需要保留的層也可能會在氧等離子下發(fā)生損傷;
 
  ④樣品是由容易氧化的材料或者有易氧化的結構層,氧等離子去膠過程,這些材料也會被氧化,如金屬AG、C、CR、Fe以及Al,非金屬的石墨烯等二維材料;
 
  市面上常見氧等離子去膠機按照頻率可分為微波等離子去膠機和射頻等離子去膠機兩種,微波等離子去膠機的工作頻率為2.45GHz,射頻等離子去膠機的工作頻率為13.5MHz,更高的頻率決定了等離子體擁有更高的離子濃度、更小的自偏壓,更高的離子濃度決定了去膠速度更快,效率更高;更低的自偏壓決定了其對襯底的刻蝕效應更小,也意味著去膠過程中對襯底無損傷,而射頻等離子去膠機其工作原理與刻蝕機相似,結構上更加簡單。因此,在光電器件的加工中,去膠機的選擇更推薦使用損傷更小的微波等離子去膠機。
 
版權所有©2025 那諾中國有限公司 All Rights Reserved   備案號:   sitemap.xml   技術支持:化工儀器網   管理登陸
麻豆国产在线精品国偷产拍 | 婷婷六月亚洲中文字幕| 精品久久免费一区二区三区四区 | 91精品国产综合久久久蜜臀九色 | 新巴尔虎左旗| 精品国产乱码久久久久久| 亚洲国产中文成人久久综合视频| 国产在线乱码一区二区三区| 日日摸夜夜添夜夜添无码国产 | 好紧好爽好深再快点AV在线| zzijzzij亚洲日本少妇 | 久久久久久夜精品精品免费啦| 亚洲av永久无码精品主页| 久久婷婷五月综合色奶水99啪| 国产三级在线| 在线av| 久久影视网| 国产精品久久久久亚洲av成人| 日本国产一区二区三区在线观看| 加查县| 糖心vlog入口进入网站| 最近更新2019中文字幕在线| 久9视频这里只有精品8| 亚洲码和欧洲码168区| 天堂а在线地址8最新版| 偷窥国产亚洲女爱视频在线| 日韩性生活| 欧美区日韩区| 精品亚洲欧美视频在线观看| 欧洲国产伦久久久久久久| 亚洲成av人片天堂网| 在线观看免费人成视频播放| 免费无码不卡中文字幕在线| 国产在线无码一区二区三区 | 久久99精品国产.久久久久| 日韩欧美一| 人妻丰满熟妇AV无码久久| 亚洲人成绝网站色WWW| 激情偷乱人伦小说视频在线| 国产AV中文AV无码AV狼人| 狠狠色婷婷久久一区二区三区|