伊人久久大香线蕉av影院,日韩欧美黄色,夜鲁鲁鲁夜夜综合视频,天堂在\/线中文官网

技術(shù)文章/ article

您的位置:首頁  -  技術(shù)文章  -  帶你一文領(lǐng)略磁控濺射

帶你一文領(lǐng)略磁控濺射

更新時(shí)間:2022-07-27      瀏覽次數(shù):1679

主要功能:

主要用于半導(dǎo)體應(yīng)用,及各種需要進(jìn)行微納工藝濺射鍍膜的情形??梢?/span>用于金屬材料(金、銀、銅、鎳、鉻等)的直流濺射、直流共濺射,絕緣材料(如陶瓷等)的射頻濺射,以及反應(yīng)濺射能力。基片可支持硅片,氧化硅片,玻璃片,以及對(duì)溫度敏感的有機(jī)柔性基片等。

 

工作原理:

通過分子泵和機(jī)械泵組成的兩級(jí)真空泵對(duì)不銹鋼腔體抽真空,當(dāng)廣域真空計(jì)顯示的讀數(shù)達(dá)到10-6Torr量級(jí)或更高的真空時(shí),主系統(tǒng)的控制軟件通過控制質(zhì)量流量計(jì)精確控制Ar氣體(如需要濺射氧化物薄膜,可增加O2),此時(shí)可以設(shè)定工藝所要求的真空(一般在0.1-10Pa范圍)。這時(shí)可以根據(jù)濺射的需要開啟RFDC電源,并通過軟件選擇所要濺射的靶槍,產(chǎn)生的Ar等離子轟擊相應(yīng)的靶槍(如果增加O2,氧原子則會(huì)與濺射出來的原子產(chǎn)生反應(yīng),實(shí)現(xiàn)反應(yīng)濺射)。并在樣品臺(tái)上方的基片上沉積出相應(yīng)的薄膜,薄膜的膜厚可以通過膜厚監(jiān)控儀自動(dòng)控制。工藝狀況可通過腔門上的觀察視窗實(shí)時(shí)觀看。自動(dòng)遮板則可以遮擋每一次除了被選中的靶槍外的其它靶槍,防止被污染。

 

設(shè)備優(yōu)勢(shì):

考慮實(shí)驗(yàn)應(yīng)用要求工藝數(shù)據(jù)的可靠性,NANO-MASTER的磁控濺射設(shè)備在鍍膜均勻性、重復(fù)性和設(shè)備穩(wěn)定性等方面均有優(yōu)勢(shì)。

1、鍍膜均勻性:在關(guān)鍵的鍍膜均勻性方面,對(duì)于6”硅片的金屬材料鍍膜,NM設(shè)備可以達(dá)到優(yōu)于3%的鍍膜均勻度。

2、設(shè)備制造工藝:在配備相似等級(jí)的分子泵及機(jī)械泵的情況下,NM設(shè)備普遍具有更快的抽真空速率,可在20-25分鐘左右就達(dá)到高真空工藝。腔體真空的穩(wěn)定度影響鍍膜的性能。

3、工藝的可重復(fù)性:NM設(shè)備在工藝控制方面,有更高的自動(dòng)化能力,通過PC控制,減少人工干預(yù)造成的工藝偏差。相比需要人工配合的設(shè)備,導(dǎo)致不同人采用同樣的工藝做出來的效果卻不同,甚至同一個(gè)人在不同時(shí)間運(yùn)行相同的工藝做出來的效果也不同。

4、設(shè)備的緊湊性:在滿足相同性能情況下,由于加工精密度方面的優(yōu)勢(shì),NM設(shè)備具有更緊湊的設(shè)計(jì),占地面積較小,節(jié)約實(shí)驗(yàn)室寶貴的空間。

5、設(shè)備的穩(wěn)定性:NM設(shè)備的維護(hù)率較低,可以保證設(shè)備較長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定運(yùn)行,保證科研進(jìn)度。

 

版權(quán)所有©2025 那諾中國(guó)有限公司 All Rights Reserved   備案號(hào):   sitemap.xml   技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)   管理登陸
久久99精品久久久久久齐齐 | 国产欧美va天堂在线观看视频| 五月婷婷色综合| 无码一区二区三区不卡av| 乱子伦一区二区三区| 日韩精品一区二区三区在线观看| 欧美国产亚洲高清| 亚洲成A人片在线观看日本| 一本久久A精品一区二区| 亚洲天堂免费| hd性丰满白嫩白嫩的av| 国产免费AV片在线观看播放| 国产免费破外女真实出血视频| 靖安县| 性少妇jealousvue成熟| 免费无码又爽又刺激高潮的视频| 国产精品自产拍在线观看花钱看| 亚洲级αV无码毛片久久精品| 激情内射| 都市激情亚洲色图| 毛片aa| 久久99久久99精品免视看| 无码久久精品国产亚洲AV影片| 亚洲欧美日韩在线不卡| 国产成人精品必看| 日本一区二区在线观看| av在线| 污污污污污污污网站污| 精品午夜福利在线观看| 中文字幕无码成人免费视频| 成人无码AV一区二区| 桂林市| 偷拍老熟女69啪啪| 久久国产福利| 欧美色老头| 国产日韩未满十八禁止观看| 亚洲欧美日韩综合久久| 高清视频大片免费观看| 亚洲AV无码乱码国产精品久久| 免费a级毛片无码a∨| 97无码人妻福利免费公开在线视频|