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進(jìn)口光學(xué)鍍膜機(jī)維護(hù)與保養(yǎng)

更新時(shí)間:2020-07-15      瀏覽次數(shù):1708
  進(jìn)口光學(xué)鍍膜機(jī)主要由真空鍍膜機(jī)室、真空抽氣機(jī)組及電柜(控制電柜、電子槍電柜)組成,其廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)成膜、民用裝飾、表面工程等領(lǐng)域。
 
  進(jìn)口光學(xué)鍍膜機(jī)工作原理是在高真空狀態(tài)下、利用電子束對(duì)金屬或非金屬材料加熱到適當(dāng)?shù)臏囟?,材料受熱后蒸發(fā)成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發(fā)源至被蒸發(fā)基片距離大,蒸發(fā)出來(lái)的蒸汽分子向四處直射,碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。
 
  進(jìn)口光學(xué)鍍膜機(jī)維護(hù)與保養(yǎng)主要包換電子槍安裝與維護(hù)、光路的檢修與維護(hù)、設(shè)備的清洗與保養(yǎng)。
 
  1.定期更換擴(kuò)散泵油
 
  擴(kuò)散泵油使用一段時(shí)間,約二個(gè)月(兩班),因在長(zhǎng)期高溫環(huán)境,雖然較高真空時(shí)才啟動(dòng)擴(kuò)散泵,但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴(kuò)散泵油起反應(yīng),擴(kuò)散泵油在高溫下也可能產(chǎn)生裂解,使其品質(zhì)下降,而延長(zhǎng)抽氣時(shí)間。在我們認(rèn)為時(shí)間延長(zhǎng)得太多時(shí),應(yīng)予更換。
 
  2.真空泵
 
  機(jī)械泵油、維持泵油在使用二個(gè)月,油質(zhì)會(huì)發(fā)生變化。因油可能抽入水分、雜質(zhì)及其它原因,而使用油粘性變差,真空下降,故需要更換。如為新設(shè)備,在使用頭半個(gè)月即應(yīng)更換,因在磨合期,油含磨合鐵粉較多,會(huì)加劇磨損。
 
  3.清潔衛(wèi)生
 
  定期將設(shè)備及其周圍環(huán)境衛(wèi)生搞好,常保持設(shè)備內(nèi)外清潔,將設(shè)備周圍環(huán)境整理有條,有一個(gè)好的工作環(huán)境,以保安全。
 
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