兆聲清洗機不僅保留了超聲波清洗的優(yōu)點，而且克服了超聲波清洗的缺點。兆聲無損清洗機的工作原理是利用高能（850kHz）頻率效應和化學清洗劑的化學反應對硅片進行清洗。在清洗過程中，換能器發(fā)出的高能聲波波長為1 m，頻率為0.8 MHZ。在聲波的驅動下，溶液的分子運動得更快。瞬時速度可達30cm/s。因此，無法形成超聲清洗等氣泡。相反，兆聲清洗機只能用高速的流體波不斷地沖擊晶圓片表面，迫使附著在晶圓片表面的微小污染物顆粒被去除并進入清洗溶液中。
經(jīng)濟的發(fā)展，人們的生活水平不斷提高，對消費品的質(zhì)量要求也越來越高，等離子技術隨之逐步進入生活消費品生產(chǎn)行業(yè)中；另外，科技的不斷發(fā)展，各種技術問題的不斷提出，新材料的不斷涌現(xiàn)，越來越多的科研機構已認識到等離子技術的重要性，兆聲清洗機并投入大量資金進行技術攻關，等離子技術在其中發(fā)揮了非常大的作用。我們深信等離子技術應用范圍會越來越廣；技術的成熟，成本的降低，其應用會更加普及。
兆聲清洗機的機理，主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。就反應機理來看，等離子體清洗通常包括以下過程：無機氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；氣相物質(zhì)被吸附在固體表面；被吸附基團與固體表面分子反應生成產(chǎn)物分子；產(chǎn)物分子解析形成氣相；反應殘余物脫離表面。
主要功能部件有：箱體部分、骨架、酸泡槽、DI水清洗槽、超聲/兆聲槽、石英管滾動系統(tǒng)、噴淋系統(tǒng)、機械手部分、貯藏柜、排風裝置、給（排）水管路、抽風系統(tǒng)和電氣控制系統(tǒng)等。采用全自動控制式，通過觸摸屏設定參數(shù)來選擇清洗工藝，操作便捷。
兆聲清洗機技術特點
1、可根據(jù)用戶工藝要求配置。
2、清洗槽高加熱溫度可達200℃。
3、快速排放沖洗槽排放，沖洗次數(shù)可設置。
4、槽體結構可選單片盒，或雙片盒結構。
5、槽內(nèi)傳輸有手動、自動方式可選。
6、可選配超聲清洗，或兆聲清洗功能。
7、可選配液體循環(huán)系統(tǒng)。
8、具有故障提示，報警等功能
產(chǎn)品分類
更新時間：2019-11-13 
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