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經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,人們的生活水平不斷提高,兆聲清洗機(jī)需要也越來越旺盛

更新時間:2019-11-13      瀏覽次數(shù):1716
     兆聲清洗機(jī)不僅保留了超聲波清洗的優(yōu)點(diǎn),而且克服了超聲波清洗的缺點(diǎn)。兆聲無損清洗機(jī)的工作原理是利用高能(850kHz)頻率效應(yīng)和化學(xué)清洗劑的化學(xué)反應(yīng)對硅片進(jìn)行清洗。在清洗過程中,換能器發(fā)出的高能聲波波長為1 m,頻率為0.8 MHZ。在聲波的驅(qū)動下,溶液的分子運(yùn)動得更快。瞬時速度可達(dá)30cm/s。因此,無法形成超聲清洗等氣泡。相反,兆聲清洗機(jī)只能用高速的流體波不斷地沖擊晶圓片表面,迫使附著在晶圓片表面的微小污染物顆粒被去除并進(jìn)入清洗溶液中。
 
    經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,人們的生活水平不斷提高,對消費(fèi)品的質(zhì)量要求也越來越高,等離子技術(shù)隨之逐步進(jìn)入生活消費(fèi)品生產(chǎn)行業(yè)中;另外,科技的不斷發(fā)展,各種技術(shù)問題的不斷提出,新材料的不斷涌現(xiàn),越來越多的科研機(jī)構(gòu)已認(rèn)識到等離子技術(shù)的重要性,兆聲清洗機(jī)并投入大量資金進(jìn)行技術(shù)攻關(guān),等離子技術(shù)在其中發(fā)揮了非常大的作用。我們深信等離子技術(shù)應(yīng)用范圍會越來越廣;技術(shù)的成熟,成本的降低,其應(yīng)用會更加普及。
 
    兆聲清洗機(jī)的機(jī)理,主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達(dá)到去除物體表面污漬的目的。就反應(yīng)機(jī)理來看,等離子體清洗通常包括以下過程:無機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應(yīng)殘余物脫離表面。
 
    主要功能部件有:箱體部分、骨架、酸泡槽、DI水清洗槽、超聲/兆聲槽、石英管滾動系統(tǒng)、噴淋系統(tǒng)、機(jī)械手部分、貯藏柜、排風(fēng)裝置、給(排)水管路、抽風(fēng)系統(tǒng)和電氣控制系統(tǒng)等。采用全自動控制式,通過觸摸屏設(shè)定參數(shù)來選擇清洗工藝,操作便捷。
 
    兆聲清洗機(jī)技術(shù)特點(diǎn)
 
    1、可根據(jù)用戶工藝要求配置。
 
    2、清洗槽高加熱溫度可達(dá)200℃。
 
    3、快速排放沖洗槽排放,沖洗次數(shù)可設(shè)置。
 
    4、槽體結(jié)構(gòu)可選單片盒,或雙片盒結(jié)構(gòu)。
 
    5、槽內(nèi)傳輸有手動、自動方式可選。
 
    6、可選配超聲清洗,或兆聲清洗功能。
 
    7、可選配液體循環(huán)系統(tǒng)。
 
    8、具有故障提示,報警等功能
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